相干公司推出新型準分子激光退火(ELA)系統(tǒng)VYPER，實現用于下一代平板顯示器的低溫多晶硅(LTPS)的量產。LTPS是用于智能手機和平板電腦的輕型節(jié)能液晶顯示器(LCD)和有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器的關鍵部件。

新型千瓦級VYPER準分子激光器與改進的線光束光學系統(tǒng)相結合，提供可升級的平臺，使LTPS顯示器制造商能夠從目前的第四代面板無縫轉向第六代，顯著提高產量。而且，VYPER的先進設計和能力支持直至第八代的設計，從而使制造商也能滿足未來嚴格的成本目標。

“目前大多數移動顯示器使用相干公司的準分子激光器和線光束光學系統(tǒng)制造。”相干公司副總裁Richard Waldermann說。“隨著準分子激光器輸出功率和線光束長度的提高，我們看到VYPER系統(tǒng)得到廣泛采用，實現了直至第八代大尺寸面板的低成本高效的生產。我們期望基于LTPS技術的相干公司ELA系統(tǒng)繼續(xù)成為快速增長的高分辨率顯示器市場的首選。”