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半導(dǎo)體激光器 激光切割 激光器
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用于掩膜刻寫與檢測(cè)的2kHz IndyStar準(zhǔn)分子激光器
材料來(lái)源：Coherent           錄入時(shí)間：2010-7-23 11:36:19

 

相干公司2kHz高重復(fù)頻率IndyStar準(zhǔn)分子激光器是半導(dǎo)體工業(yè)中超高精度的193nm和248nm照明光源。IndyStar準(zhǔn)分子激光器的2kHz重復(fù)頻率及其高穩(wěn)定性，在基于紫外激光生產(chǎn)和質(zhì)量檢測(cè)的光掩膜中起到至關(guān)重要的作用，可獲得更小的微芯片結(jié)構(gòu)。

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