越來(lái)越多的顯示屏制造商開(kāi)始使用8代線大型基板，新型Coherent LineBeam LB1300-G8 退火系統(tǒng)提高了在8代線大型基板上生產(chǎn)低溫多晶硅(LTPS)背板的效率。對(duì)于8代線更大尺寸的基板，LB1300-G8提供退火工藝所需的更長(zhǎng)激光束，來(lái)實(shí)現(xiàn)提高效率這一目標(biāo)，并可選配專為L(zhǎng)TPS 工藝設(shè)計(jì)的革命性新型Coherent PYTHON全固態(tài)激光器。

01 OLED顯示屏變得更大

OLED 面板制造商正在積極推進(jìn)在筆記本電腦、平板電腦、游戲系統(tǒng)和臺(tái)式電腦顯示器等應(yīng)用中取代傳統(tǒng)液晶顯示屏 (LCD)。與LCD相比，OLED 顯示具有更多優(yōu)勢(shì)，特別是在移動(dòng)或手持設(shè)備方面，包括更好的畫質(zhì)、更輕的重量、更緊湊的尺寸（更�。�、更寬的視角、更快的響應(yīng)時(shí)間（對(duì)于視頻流和游戲來(lái)說(shuō)非常重要）以及更優(yōu)的電耗（可延長(zhǎng)電池壽命）。 

但是，制造這類IT面板也給面板制造商帶來(lái)了挑戰(zhàn)，因?yàn)橐酝�的生產(chǎn)主要針對(duì)較小尺寸的智能手機(jī)顯示屏。在面板制造工藝中，首先在一塊大尺寸玻璃母板上同時(shí)生成多個(gè)陣列排布的顯示屏。隨后，再?gòu)脑撃赴逯星懈畛鰡蝹�(gè)顯示屏。

隨著單個(gè)顯示屏尺寸增加，在給定尺寸的玻璃母板上可以生產(chǎn)的顯示屏數(shù)量越來(lái)越少，但加工該母板的成本卻基本保持不變，這導(dǎo)致每個(gè)顯示屏單位成本的上升。

隨著顯示屏尺寸增大，在給定尺寸的玻璃母板上可以生產(chǎn)的單位數(shù)量相應(yīng)減少，從而增加了單位成本。

面板制造商的一個(gè)解決方案是增加玻璃母板尺寸，以便在每塊母板上生產(chǎn)出更多數(shù)量的顯示屏。很顯然，這個(gè)解決方案的前提是加工這些更大尺寸的母板不會(huì)大幅增加成本，否則，將無(wú)法顯著降低顯示屏制造的單位成本。

02 為8代線優(yōu)化 LINEBEAM

Coherent 高意是 LTPS 退火系統(tǒng)的首要供應(yīng)商，全球所有主流面板制造商都依賴我們的LineBeam 系統(tǒng)。過(guò)去，我們提供的系統(tǒng)中具有四種不同的線光斑長(zhǎng)度選項(xiàng)（750 mm、1000 mm、1300 mm和1500 mm），這使得面板制造商能夠加工所有不同尺寸的玻璃母板。

如今，面板制造商計(jì)劃在最新的8代線 OLED 工廠采用尺寸為 2290 mm x 2620 mm的玻璃母板，這個(gè)尺寸比之前的世代線所采用的玻璃母板大得多，其綜合成本有可能大幅降低以達(dá)到面板制造商的預(yù)期。

對(duì)于8代線玻璃母板，如果采用沿短邊方向掃描兩次的方式做LTPS 晶化，則至少需要1310 mm（2620 mm的一半）的線光斑長(zhǎng)度。當(dāng)然，這也可以通過(guò)現(xiàn)有的Coherent LineBeam 1500來(lái)實(shí)現(xiàn)，但該系統(tǒng)的成本顯然無(wú)法匹配面板制造商所預(yù)期的經(jīng)濟(jì)效益。

LB1300-G8專為提高8代線面板的經(jīng)濟(jì)效益和加工效率而設(shè)計(jì)，其線光斑長(zhǎng)度足以適配采用兩次掃描的LTPS 背板工藝，對(duì)面板制造商來(lái)說(shuō)極具吸引力。 

LB1300-G8的另一大特點(diǎn)是兼容Coherent VYPER或PYTHON 系列激光器。PYTHON是一種二極管泵浦固態(tài) (DPSS) 激光器，其激光輸出特性與VYPER 準(zhǔn)分子激光器基本相同，而使用成本可大大降低。

Coherent LineBeam LB1300-G8（尤其是搭配TwinPYTHON 激光器時(shí)）可使面板制造商在8代線 LTPS 背板量產(chǎn)制造中實(shí)現(xiàn)更高的良率和加工效率。

文章來(lái)源： Coherent高意激光

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