顆粒測量是對樣品中的顆粒進(jìn)行計數(shù)和篩分的過程，可對空氣或液體進(jìn)行測量。此技術(shù)在半導(dǎo)體晶圓制造等 工業(yè)制程工藝中非常重要，流體的高純度是其中的一項要求，如果存在顆粒污染物，則會導(dǎo)致產(chǎn)品報廢或系統(tǒng)損壞。