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| 超快激光直寫在玻璃微加工中的應用
譚德志 - 之江實驗室 - 研究員/PI
主要研究方向：超快激光制造、光電材料與器件。以第一 / 通訊作者在 Science、Light Sci. Appl.、Adv. Photonics 等期刊發(fā)表論文 30余篇。成果在 Science 封面及亮點板塊被重點介紹，被 Phys.org、中國科學報、科技日報等國內(nèi)外知名學術媒體專題報道。擔任 Science合作期刊 Ultrafast Science、中國激光雜志社、《硅酸鹽通報》等的青年編委。主持國家基金委基金、科技部重點研發(fā)計劃項目子課題并負責了多項企業(yè)委托研發(fā)項目等。
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演講摘要： 玻璃是一種廣泛使用的工業(yè)材料。通過超快激光直寫技術，能在玻璃內(nèi)加工出各種特征結(jié)構(gòu)，它們在當下發(fā)展火熱的micro-LED、3D顯示以及光存儲、光互連和光計算方面，有著廣泛的應用潛力。 |
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| 運動控制在激光微加工中的應用
謝香林 - 艾羅德克運動控制技術(上海)有限公司
高級銷售工程師
謝香林，Aerotech 中國資深銷售工程師，業(yè)務范圍涵蓋激光、醫(yī)療、電子、精密制造、數(shù)據(jù)存儲等行業(yè)方向。從事激光微加工行業(yè) 12 年，具有深厚的精密激光微加工領域技術工藝、系統(tǒng)集成、設備開發(fā)的經(jīng)驗及技術積累。愿同大家一起分享和探討激光微加工領域遇到的控制方面及工藝方面的技術及問題。
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演講摘要： 作為業(yè)內(nèi)領先的運動控制品牌，Aerotech 始終專注于精密運動科學 (Dedicated to Science of Motion)。我們提供的高性能運動控制器及精密運動平臺，廣泛應用于各個行業(yè)。本次演講將結(jié)合激光微加工應用介紹 Aerotech 控制器及相關機電產(chǎn)品使用案例及特點，簡要介紹 Aaerotech 新的運動控制平臺 Automation1 控制系統(tǒng)。 |
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| 飛秒激光用于玻璃、碳化硅半導體等非金屬材料的微納焊接
程光華 - 西北工業(yè)大學 - 教授
曾任中國科學院西安光學精密機械研究所、現(xiàn)任西北工業(yè)大學教授、
法國國家科學研究中心休伯特居里實驗室客座教授；獲陜西省青年
科技新星稱號，獲陜西科學技術一等獎兩項；加拿大自然科學與工
程基金通訊評議人、科技部“增材制造與激光制造”重點專項項目評
審專家、國家自然科學基金評審專家、科技部重點研發(fā)計劃項目評審
專 家；《中 國 光 學》編 委、《International Journal of Extreme
Manufacturing （IJEM）》青 年 編 委、Co-chair of International
Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM 2016)；
主要從事超短脈沖激光技術，激光與物質(zhì)介質(zhì)相互作用機理和應用
研究。承擔了科技部國家重大儀器開發(fā)專項、國家基金儀器專項、國
家基金重點項目、科技部國家重點研發(fā)計劃等課題多項。發(fā)表學術論
文二百余篇，授權(quán)國家發(fā)明專利二十余項。
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演講摘要： 超快貝塞爾光束的特征是能在透明介質(zhì)內(nèi)實現(xiàn)精度高達幾十納米的維納級加工。
這一特性能成功實現(xiàn)玻璃焊接、石英玻璃與碳化硅半導體之間的焊接、納米材料焊接、甚至是玻璃與金屬之間的精密焊接等尖端應用。 |
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| 持續(xù)創(chuàng)新的通快超短脈沖技術
為先進制造提供更多可能
張潮 - 通快(中國)有限公司 - 行業(yè)與產(chǎn)品管理主管
張潮先生現(xiàn)任通快（中國）有限公司行業(yè)與產(chǎn)品管理主管，主要負責短脈沖及超短脈沖激光器產(chǎn)品管理及電子行業(yè)市場開發(fā)工作。他在工業(yè)脈沖激光領域擁有豐富的經(jīng)驗，在過去的八年中，他所負責的項目涉及先進顯示、半導體、3C 電子、汽車電子等行業(yè)，推動實現(xiàn)了多項短脈沖及超短脈沖激光技術在高分子薄膜、硬脆材料加工、金屬微加工、涂層去除等工業(yè)量產(chǎn)中的應用。
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演講摘要： 近年來，超短脈沖激光技術在先進制造領域迎來了爆發(fā)式發(fā)展。而隨著 5G, VR/AR 顯示、柔性顯示等新技術的不斷成熟，高端精密制造對于材料加工提出了越來越高的要求。通快公司作為工業(yè)超快激光技術的全球領導者，持續(xù)加大在新型超快激光技術的產(chǎn)品研發(fā)與應用研究力度。本次分享中，通快公司將帶來最新的深紫外超快激光技術、革命性的可自由傳輸超快光束的中空光纖、超高功率的飛秒紫外激光技術相關的產(chǎn)品，及相關先進顯示、新一代 PCB/FPC 加工、超薄玻璃（UTG）等工業(yè)應用分享。 |
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| 硅晶圓軟標識工藝的研究
張玲玲 - 上海市激光技術研究所 - 副總工程師
張玲玲，博士，高級工程師，現(xiàn)任上海激光直接物標溯源工程技術研
究中心主任、上海市激光技術研究所副總工程師。有快將近 20 年的
激光器件、激光加工工藝和設備，以及激光光譜醫(yī)療檢測的研究從業(yè)
經(jīng)歷，近年來聚焦于半導體，玻璃等硬脆材料的激光精細加工和加工
過程的實時監(jiān)測，并先后獲得多項發(fā)明和實用新型專利，曾在
《Journal of Modern Optics》，中國激光光，SPIE 等期刊發(fā)表多篇學
術論文。
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演講摘要： 直接零件標識（DPM）是一種可助力產(chǎn)品制造流程的轉(zhuǎn)變，實現(xiàn)產(chǎn)品成本、質(zhì)量、性能改變的一種先進
技術。激光直接物標溯源技術利用先進的激光打標技術，推動二維碼和 DPM 技術的進一步融合，保
證產(chǎn)品在整個生命周期均具有可追溯性，大大擴展了 DPM 溯源技術的應用領域。激光標識以其非接
觸，高精細等優(yōu)點，作為一種先進的生產(chǎn)管理和溯源跟蹤手段，在半導體電子行業(yè)中成為一道不可或
缺的工藝，成為復雜加工流程中實現(xiàn)出眾跟蹤和控制能力的基礎。本次演講分享上海激光技術研究
所團隊基于激光和硅材料的相互作用機理，聚焦于行業(yè)規(guī)范對標識的潔凈度、深度、飛濺、碎屑以及
精細度的嚴苛要求，探索解決由于硅材料對激光的敏感性，而造成標識外觀、一致性，以及標識深度
的控制等一系列問題，形成了符合 SEMI 要求的穩(wěn)定的、可用于生產(chǎn)的激光軟標識硅晶圓的工藝。 |
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