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高功率半導(dǎo)體激光器
高功率、高亮度輕便型光纖耦合半導(dǎo)體激光器
材料來源:激光世界           錄入時間:2011-7-28 10:15:21

注:本文版權(quán)為《激光世界》所有,未經(jīng)許可,請勿轉(zhuǎn)載!

作者:Paul Wolf,Bernd Köhler,Karsten Rotter;DILAS公司

 在過去的幾年中,高功率固體激光器,特別是光纖激光器已經(jīng)獲得了越來越多的應(yīng)用。高功率、高亮度光纖耦合半導(dǎo)體激光模塊作為這些激光器的泵浦源,其市場需求也在顯著增長。半導(dǎo)體激光系統(tǒng)的主要優(yōu)勢包括電源轉(zhuǎn)換效率高、光功率高、可靠耐用、對環(huán)境條件要求寬松以及體積小、質(zhì)量輕等。

 然而,要想獲得有效的光纖耦合,需要對慢軸光束質(zhì)量(通常限制大面積半導(dǎo)體激光器巴條的有效耦合)進(jìn)行調(diào)整以適合光纖需求;跇(biāo)準(zhǔn)的10mm寬巴條的半導(dǎo)體激光系統(tǒng),通常采用光束變換系統(tǒng)來調(diào)節(jié)巴 美國留學(xué)條件 澳大利亞留學(xué) 澳大利亞留學(xué)網(wǎng)條或疊陣輸出的高度非對稱光。這些光束變換系統(tǒng)(棱鏡陣列、透鏡陣列、光纖束等)成本高昂,并且整個系統(tǒng)的效率也會隨著復(fù)雜性的增加而降低[1]。

 為了提高光纖耦合半導(dǎo)體激光器的亮度,DILAS公司始終致力于開發(fā)可定制的迷你型巴條,其相比于傳統(tǒng)的10mm巴條擁有諸多優(yōu)勢。這些迷你巴條的優(yōu)點(diǎn)之一是:其僅在快軸準(zhǔn)直透鏡(FAC)和慢軸準(zhǔn)直透鏡(SAC)中使用了微光學(xué)元件,在無需其他光束變換元件的情況下,就能將輸出光有效地耦合到直徑200μm、NA為0.22的光纖中。因此,這是一套非常簡化的高亮度高效光學(xué)系統(tǒng)。

 提高半導(dǎo)體激光系統(tǒng)(特別是泵浦源系統(tǒng))性能的另一個重要方法是控制泵浦模塊的峰值波長和線寬。通過VGH(VHG)等外部元件可以實(shí)現(xiàn)波長控制。光譜穩(wěn)定的半導(dǎo)體激光模塊的主要優(yōu)勢在于:溫度和電流對模塊的光譜特性影響較小。因此,其對冷卻系統(tǒng)的要求降低,并且模塊可以在惡劣環(huán)境下工作。對于反射鏡介電鍍膜以及偏振耦合器的損耗而言,波長控制同樣具有優(yōu)勢。此外,波長穩(wěn)定還可以確保模塊在整個工作范圍和生命周期內(nèi)的泵浦穩(wěn)定有效。

 除了上述優(yōu)點(diǎn),半導(dǎo)體激光器系統(tǒng)對芯片材料的要求同樣可以放寬,因此可以獲得更高的產(chǎn)量。然而,需要指出的是,所有這些性質(zhì)均取決于鎖定范圍,并且這些優(yōu)點(diǎn)并不能同時擁有[2]。鎖定范圍主要由VGH的反射率、巴條輸出端面的反射率、以及鎖定波長與不采用VGH的半導(dǎo)體激光器的波長差決定。

 波長穩(wěn)定的高功率半導(dǎo)體激光器模塊的特性

 1)波長穩(wěn)定的675 W / 200μm原型的設(shè)計(jì)與性能

為了滿足市場對緊湊型以及高亮度的需要,必需開發(fā)結(jié)構(gòu)緊湊、波長穩(wěn)定的光纖耦合半導(dǎo)體激光模塊。這意味著必須對二極管的機(jī)械架構(gòu)、光路以及光學(xué)設(shè)計(jì)進(jìn)行優(yōu)化,以維持二極管的初始亮度。圖1顯示了675W激光模塊的設(shè)計(jì)圖。

 

圖1:波長穩(wěn)定裝置的光路圖。采用空間合成以及偏振耦合,可以獲得高亮度。

巴條分四個陣列排布,每個陣列排布7個巴條,整個模塊共28個巴條。28個巴條均采用FAC及SAC透鏡準(zhǔn)直。每兩個陣列沿快軸方向利用若干折疊鏡堆疊,最后對兩個堆疊的輸出光束進(jìn)行偏振耦合,以增強(qiáng)模塊亮度。

 為了獲得球形聚焦物鏡上的對稱光束,在慢軸方向采用柱透鏡望遠(yuǎn)鏡對光束進(jìn)行擴(kuò)束。最后再利用球形透鏡組將光束聚焦到直徑200μm、NA=0.22的模式分離(mode stripped)光纖。所用光纖為Optoskand公司生產(chǎn)的水冷增透鍍膜QBH光纖。

 首先對原型裝置進(jìn)行測量以檢驗(yàn)光學(xué)性質(zhì),包括電光轉(zhuǎn)換效率以及不使用VGH時的光譜。圖2中,左圖顯示了采用直徑200μm、NA=0.22光纖的原型裝置的輸出功率隨電流的變化關(guān)系,以及相應(yīng)的電光效率。工作電流為40.5A時,輸出功率達(dá)到最大值775W;輸出功率為440W時,電光效率達(dá)到最大值48%,并且在整個工作范圍內(nèi)均高于42%。功率-電流曲線的斜率直到700W時依然保持線性增長。目前研究人員正致力于將這一線性關(guān)系提升到更高的電流值。圖2中,左圖給出了原型裝置的光譜特征曲線;右圖顯示了光譜的峰值波長位于974nm處,線寬為5.1nm(包含了90%的功率)。

圖2:(左圖)不采用VGH的原型模塊的功率及效率隨電流變化的曲線,工作溫度20°C;(右圖)模塊的光譜曲線,峰值波長974nm,線寬5.1nm(包含了90%的功率)。

接下來要使用VGH改善該模塊的光譜特征。研究人員測試了反射率在3%~15%之間的若干個VGH。發(fā)射率的選擇需要在不同工作條件下的鎖定范圍與VGH的插入損耗之間權(quán)衡決定。值得注意的是,巴條反射率并沒有依照VGH的反射率進(jìn)行優(yōu)化。為了降低成本并減小光學(xué)系統(tǒng)的復(fù)雜性,每個二極管陣列僅采用一個通用VGH。

 圖3顯示了采用了VGH的模塊的輸出功率及波長的測量結(jié)果。其中左圖顯示了采用直徑200μm、NA=0.22光纖的模塊的輸出功率與電流之間的函數(shù)關(guān)系,以及相應(yīng)的電光效率。當(dāng)電流為36.5A時,可獲得675W的目標(biāo)輸出功率,總電光效率達(dá)42.5%。當(dāng)采用VGH后,由于其引入了相應(yīng)的損耗,因此最大輸出功率有所下降;當(dāng)電流為37.4 A時,輸出功率達(dá)到最大值690W。

 右圖顯示了該裝置的光譜測量結(jié)果。模塊的中心波長穩(wěn)定在976.8nm,線寬降至0.7nm(包含90%的功率)。

圖3:(左圖)采用VGH的模塊的功率及效率隨電流變化的曲線,工作溫度為22°C。(右圖)模塊的光譜曲線,峰值波長976.8nm,線寬0.7nm(包含90%的功率)。

 為了確定原型模塊的鎖定范圍,DILAS對不同溫度、不同電流條件下的光譜特征作了詳盡研究,結(jié)果如圖4所示。左圖顯示了恒定工作電流條件下,溫度范圍在18~35°C之間的波長變化。中心波長的漂移僅為0.012nm/°C。右圖顯示了波長隨電流在20~40A之間變化的函數(shù)關(guān)系,相應(yīng)的波長漂移僅為0.008nm/A。

 

圖4:原型模塊在18~35℃的溫度范圍內(nèi)(左圖)以及在20~40A的電流范圍內(nèi)(右圖)的光譜曲線。

圖5顯示了第一臺原型裝置實(shí)物圖,其外觀尺寸為285mm×250mm×100mm。該模塊的主體是一臺包含整個光學(xué)裝置的堅(jiān)固機(jī)箱。四個二極管基板由側(cè)面插入,并通過螺絲固定在機(jī)箱上。模塊化的設(shè)計(jì)允許分別更換每個二極管陣列。模塊采用堅(jiān)固的鋁材料外殼時,總重量超過8kg。也可以采用鎂合金等低密度材料作外殼來降低質(zhì)量。另外,也可以通過進(jìn)一步改進(jìn)機(jī)械架構(gòu)將模塊重量減輕4kg。

 

圖5:第一臺675W原型模塊,外觀尺寸為285mm×250mm×100mm。

為了保護(hù)巴條,可以選擇對每個模塊加裝截止濾波片,以阻擋固體激光器的輸出光,這對光纖激光器而言更為重要。此外,系統(tǒng)設(shè)計(jì)還可以包括溫度傳感、光纖互鎖、引導(dǎo)光束、功率監(jiān)測以及不同種類的光纖適配器等額外配件。

DILAS表示下一個目標(biāo)是進(jìn)一步優(yōu)化二極管基板和模塊的重量以及空間設(shè)計(jì)。該模塊的重量有望減小到1.25kg。

此外,通過優(yōu)化巴條的亮度(提高單個發(fā)射體的輸出功率或者減小慢軸發(fā)散度)可以將模塊的輸出功率提高到1kW甚至更高,DILAA表示該目標(biāo)有望于今年實(shí)現(xiàn)。如果上述兩點(diǎn)改進(jìn)都得以實(shí)現(xiàn)的話,用戶最終將能獲得重量1.25kg、輸出功率1kW的模塊。

 2)波長穩(wěn)定的200W/ 200μm原型的設(shè)計(jì)與性能

該原型模塊中包含7個二極管巴條,其開發(fā)目的獲得在成本和總體效率方面均獲得改進(jìn)的緊湊型產(chǎn)品。DILAS最終設(shè)計(jì)出了外觀尺寸為130mm×65mm×39mm、重量僅為904g的模塊(如圖6)。該模塊可采用標(biāo)準(zhǔn)的SMA905光纖及新開發(fā)的SMA0.5光纖,并可用工業(yè)水冷卻。

圖6中,右圖顯示了該模塊的輸出功率隨電流的變化關(guān)系。采用直徑200μm、NA=0.22光纖的最大輸出功率為230W,相應(yīng)的電流為40A。電流為34.7 A時,可以獲得目標(biāo)功率200W,相應(yīng)的電光效率超過52%。

 

圖6:(左圖)采用SMA0.5光纖接頭的200W半導(dǎo)體激光器模塊。(右圖)20°C時該模塊的輸出功率及效率隨電流的變化曲線。

 對于低功率應(yīng)用而言,光纖耦合模塊通常采用標(biāo)準(zhǔn)的SMA905接頭。然而,這些接頭的功率損耗較大。如果輸出功率超過200W,則該問題更為關(guān)鍵,特別是與纖芯直徑較小的模式分離連用時該問題更為突出。這樣高功率模塊的另一格選擇是采用可靠的水冷工業(yè)用光纖,例如Optoskand公司生產(chǎn)的QBH光纖。然而這些光纖成本較高,在緊湊性方面也存在不足。

 Optoskand公司新推出的SMA0.5接頭(如圖7)[3],其不但可靠性高,而且頗具成本優(yōu)勢。SMA0.5接頭有多種光纖端面增透鍍膜可供選擇。

 

圖7:Optoskand公司推出的SMA0.5光纖接頭。

 該模塊的波長穩(wěn)定圖如圖8所示。左圖顯示了采用直徑200μm、NA=0.22光纖的模塊的輸出功率及效率隨電流的變化關(guān)系,以及相應(yīng)的電光效率。電流為42A時獲得最大輸出功率200W。右圖是該模塊的光譜曲線。中心波長976.7nm,線寬減小至0.5nm(包含90%的功率)。

 

圖8:(左圖)采用VGH的200W原型模塊的功率及效率隨電流的變化曲線。(右圖)該模塊的光譜曲線。峰值波長976.7nm,線寬0.5nm(包含90%的功率)。

 

小結(jié)

上述介紹的第一個原型模塊包含四個基本的構(gòu)成單元,第二個原型是僅采用一個基本單元的輕便緊湊型模塊。另外,在模塊的開發(fā)過程中,DILAS還成功地測試了Optoskand公司新推出的SMA0.5光纖接頭的性能。該接頭光纖適用于高功率應(yīng)用,并且在成本和尺寸方面均具有優(yōu)勢。

基于現(xiàn)有的模塊化設(shè)計(jì)概念,DILAS有望開發(fā)出高功率、高亮度、輕便小巧的kW級半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品。這些產(chǎn)品將在航空以及國防工業(yè)等多個領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用。

參考文獻(xiàn)

1. M.Haag et al.; “Novel high-brightness fiber coupled diode laser device”; Proc. SPIE Vol. 6456 (2007)

2. B. Köhler et al.; “Wavelength stabilized high-power diode laser modules”; Proc. SPIE Vol. 7198 (2009)

3. S. Campbell, O. Blomster, M. Palsson; “Comparison of small fibre connectors for high-power transmission”;

Proc. SPIE Vol. 7578 (2010).


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