近日，濱松光子（Hamamatsu Photonics）宣布其開發(fā)出一種高密度集成技術，用以創(chuàng)建iPMSEL（可集成相位調制表面發(fā)射激光器）陣列元件。該公司表示，作為全球最小級別的半導體激光器，它能夠發(fā)射2D模式的激光束。濱松在一份聲明中表示：“通過利用這項技術，我們成功地開發(fā)了一款iPMSEL陣列，該陣列由16個發(fā)光單元組成，在面積為2 mm2的微型芯片上形成四排四列的布局。”

上述芯片上的每個iPMSEL陣列單元都可以獨立控制，以切換其所輸出的激光束圖案，從而使該iPMSEL陣列適用于需要高精度的三維測量儀器（系統(tǒng)）。該陣列由16個iPMSEL陣列單元組成，每個單元大是邊長約為200 μm的正方形，并在2 mm2的芯片上完成高密度和高精度一體成形。該陣列在發(fā)射激光束的同時，通過對每個發(fā)光單元的電氣控制來實現各種高精度激光束圖案之間的切換輸出。

左圖：iPMSEL陣列由16個發(fā)光單元組成；右圖：由VCSEL、DOE和iPMSEL陣列組成的光束模式光源概念圖

iPMSEL陣列能夠切換輸出10000多個點、條紋、網格、字符、CG等圖案。濱松表示，他們已開發(fā)出利用其自主的全息設計和精微加工技術，以及基于光子晶體表面發(fā)射激光器的iPMSEL發(fā)光單元。光子晶體垂直腔面發(fā)射激光器是以京都大學野田研究室所開發(fā)的二維光子晶體（按光波長尺寸排列的微型結構）作為諧振器的垂直腔面發(fā)射激光器。

濱松補充表示，其目前開發(fā)的iPMSEL陣列能夠執(zhí)行高精度3D測量，例如相移法。據悉，相移法（phase-shifting method）是一種通過將周期性輸出的二維光束圖像照射到目標物體上，并解析由物體形狀產生的光束失真，從而達到對表面三維形狀進行高精度測量的一種技術。

此外，iPMSEL陣列還可用于提高3D動作捕捉和3D臉部識別的準確性。通過高密度集成技術實現的小型輕量化優(yōu)勢，它還可被應用于醫(yī)療和工業(yè)領域的緊湊型便攜式光纖內窺鏡等設備中。

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