2022年8月4日，炬光科技全新發(fā)布Flux H系列可變光斑激光系統(tǒng)。該系統(tǒng)輸出光斑長度和寬度在2mm到200mm范圍內(nèi)分段連續(xù)可調(diào)，光斑均勻度＞95%，具備閉環(huán)溫控功能，適用于泛半導(dǎo)體制程解決方案。

炬光科技 Flux H 系列可變光斑激光系統(tǒng)

隨著激光技術(shù)的飛速發(fā)展，激光應(yīng)用領(lǐng)域在廣度和深度上不斷拓展，各行業(yè)對于加工效率以及加工精度也不斷提出更高要求，進而對高均勻度以及不同尺寸光斑的需求不斷增多。激光光斑從傳統(tǒng)的“點”已經(jīng)逐漸發(fā)展為加工效率更高的“線”和“面”。目前高均勻度（>95%），且長寬靈活可變的“線”、“面”光斑已被廣泛應(yīng)用在面板顯示、集成電路、鋰電池制造、玻璃和光伏等泛半導(dǎo)體制程解決方案。

線光斑、面光斑加工方式示意

產(chǎn)品特點及應(yīng)用

• 基于4000W功率976nm波長的半導(dǎo)體光源
• 實現(xiàn)輸出光斑長寬方向2~200mm分段連續(xù)可調(diào)
• 光斑能量均勻度＞95%
• 紅外溫度監(jiān)控和閉環(huán)溫度控制功能

Flux H系列可變光斑激光系統(tǒng)，使用4000W功率976nm波長的半導(dǎo)體光纖輸出激光光源，通過炬光科技自主知識產(chǎn)權(quán)的光學(xué)設(shè)計，從光斑長度和寬度方向分別使用微光學(xué)模組進行光斑尺寸調(diào)控和光學(xué)勻化設(shè)計，光斑長度和寬度可實現(xiàn)從2mm到200mm分段連續(xù)可調(diào)，且光斑能量均勻度＞95%。根據(jù)特定的應(yīng)用和工藝需求，不同的光斑尺寸變化范圍匹配相應(yīng)的工作距離，做到產(chǎn)品配置靈活可變；同時基于獨特的光學(xué)設(shè)計，系列產(chǎn)品集成了高響應(yīng)速度的紅外測溫系統(tǒng)，能夠?qū)崟r監(jiān)控工藝區(qū)域的溫度，并通過閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)進行功率調(diào)節(jié)和工藝溫度恒定控制，以滿足不同場景下的應(yīng)用需求。

Flux H系列可變光斑激光系統(tǒng)，通過不同的激光功率和靈活的光斑尺寸選擇，結(jié)合集成度極高的加工頭設(shè)計，適用于材料非接觸加熱、激光輔助鍵合、激光巨量焊接、激光干燥、材料表面處理等各類應(yīng)用。

產(chǎn)品性能參數(shù)

不同工作距離下的光斑尺寸變化范圍

炬光科技自成立以來始終專注光子技術(shù)基礎(chǔ)元器件及相關(guān)應(yīng)用產(chǎn)品的研究和開發(fā)，積極拓展創(chuàng)新的應(yīng)用領(lǐng)域。炬光科技堅持通過技術(shù)創(chuàng)新、卓越制造和快速響應(yīng)，為成為全球可信賴的光子應(yīng)用解決方案提供商而不斷努力。

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