3D-Micromac AG公司是半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療設(shè)備和電子市場(chǎng)激光微加工和卷對(duì)卷激光系統(tǒng)的行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者。該公司近日推出了MicroCETI™-The第一個(gè)激光微加工平臺(tái)，可支持Micro-LED顯示器制造中所有激光工藝，除此之外它還具有批量生產(chǎn)所需的高吞吐量、高精度和較低擁有成本特點(diǎn)。

Micro LED的制造過(guò)程比LCD和OLED的制造過(guò)程要復(fù)雜得多，在正式面向大眾之前，需要克服數(shù)項(xiàng)技術(shù)難題。

第一個(gè)挑戰(zhàn)是：在不破壞原生長(zhǎng)襯底，使其能進(jìn)行二次利用的前提下，把Micro LED芯片從藍(lán)寶石襯底分離并轉(zhuǎn)移到中間襯底以進(jìn)行后續(xù)測(cè)試。

另一個(gè)挑戰(zhàn)是如何將芯片快速準(zhǔn)確地轉(zhuǎn)移到最終的玻璃底板上，使用傳統(tǒng)的拾放方式對(duì)于普通4K顯示器（擁有千萬(wàn)計(jì)的Micro-LED芯片）而言太過(guò)費(fèi)時(shí)。同時(shí)在生產(chǎn)過(guò)程中還需要實(shí)現(xiàn)檢測(cè)和修復(fù)/更換有缺陷的Micro LED。因?yàn)橐�生產(chǎn)一臺(tái)全高清桌面顯示器，像素的合格率必須達(dá)到99.9999％。

MicroCETI平臺(tái)具有三種不同的配置，可實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)高效的Micro LED器件轉(zhuǎn)移、提起和維修。在無(wú)需施加機(jī)械力的前提下，該平臺(tái)高速度可以實(shí)現(xiàn)每小時(shí)傳輸數(shù)億個(gè)Micro LED，與其他方法相比，傳輸速率最高可提高幾個(gè)數(shù)量級(jí)，并能夠精確應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)，并已經(jīng)收到多個(gè)系統(tǒng)訂單。

MicroCETI平臺(tái)具有高重復(fù)率的高精度紫外波長(zhǎng)激光器和先進(jìn)的定位系統(tǒng)，可用于三個(gè)階段（施主階段，基板階段和掩模階段）以及多達(dá)16個(gè)軸，以亞微米級(jí)的定位傳輸每個(gè)Micro LED精度和納米級(jí)可重復(fù)性。MicroCETI支持的供體晶圓尺寸范圍從50 mm（2英寸）到200 mm（8英寸），以及中間/轉(zhuǎn)移晶圓和最大350 mm x 350 mm的背板基板。除了Micro LED，MicroCETI平臺(tái)還適用于標(biāo)準(zhǔn)LED和Mini LED處理。

通過(guò)使用激光微加工實(shí)現(xiàn)的Micro LED顯示技術(shù)，能做到視角出色、高動(dòng)態(tài)范圍、完美的黑亮度和高亮度、色域?qū)�、刷新率快、使用壽命長(zhǎng)、低功耗等。這些展示優(yōu)勢(shì)有望改變未來(lái)的顯示行業(yè)。

據(jù)3D-Micromac CEO烏維·瓦格納表示，“Micro-LED具有廣泛的潛力，可用于各種應(yīng)用和終端設(shè)備，包括室內(nèi)和室外標(biāo)牌、智能手表、增強(qiáng)/虛擬現(xiàn)實(shí)設(shè)備以及汽車(chē)平視顯示器等。3D-Micromac作為激光微加工領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者，在將創(chuàng)新的激光技術(shù)應(yīng)用于新興領(lǐng)域以滿(mǎn)足其批量生產(chǎn)需求方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)。公司的新型microCETI平臺(tái)提供了一種高吞吐量、通用且經(jīng)濟(jì)高效的激光微加工工藝，非常適合用來(lái)生產(chǎn)Micro-LED顯示器。3D-Micromac期待與Micro-LED器件和顯示器制造商合作，以加快該技術(shù)在各種潛在應(yīng)用領(lǐng)域的商業(yè)化。”