近日，由合肥脈博光電科技有限公司（以下簡稱“脈博光電”）研制的國產(chǎn)化鍺聲光調(diào)制器取得重大技術突破，衍射效率超過92%，通光功率超過500 W。該產(chǎn)品已成功通過用戶端嚴格測試，完成產(chǎn)業(yè)化并量產(chǎn)出貨，打破國外壟斷。

該聲光調(diào)制器具有高功率、高損傷閾值、高透過率、高衍射效率的特點，對極紫外光刻應用中的CO₂激光的控制有積極意義，可顯著提高OLED等顯示面板行業(yè)的激光加工精度，對汽車、電子、照明和包裝等行業(yè)的薄膜類材料激光加工也有助力。

產(chǎn)品主要指標

工作波長：9.6 μm

透 過 率：>93%

光 偏 振：線偏振，平行于底座

有效孔徑：8 mm

工作頻率：40.68 MHz

衍射效率：>85%

布拉格角：35.5 mrad

分 離 角：71 mrad

上升時間：118 ns @ 1 mm

（工作波長9.4~10.6 μm可選）

脈博光電是一家專門從事聲光、電光、磁光調(diào)制器和光學儀器的開發(fā)和制造的技術型公司，專注于對光的精密控制和應用。公司研制的多款聲光調(diào)制器、聲光偏轉器、聲光移頻器、普克爾盒、相位調(diào)制器、光彈調(diào)制器等均受到業(yè)內(nèi)頭部企業(yè)的關注。在集成電路、平板顯示、LED、太陽能電池等泛半導體制程均有廣泛應用。

文章來源： 脈博光電

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