2024年7月14日，由英諾激光牽頭的“高功率薄片超快激光器關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)在深圳成功召開。中國(guó)工程院院士、深圳大學(xué)特聘教授范滇元教授，中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所化學(xué)激光先進(jìn)精密光學(xué)技術(shù)研究組組長(zhǎng)、國(guó)家光子標(biāo)準(zhǔn)專業(yè)委員會(huì)元件與材料分會(huì)副主任委員李剛研究員，浙江大學(xué)光電科學(xué)與工程學(xué)院光學(xué)工程研究所所長(zhǎng)劉崇教授，英諾激光董事長(zhǎng)趙曉杰博士等專家和項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)核心成員出席了會(huì)議。與會(huì)人員高度認(rèn)同高功率薄片超快激光器的發(fā)展前景和重大意義，并圍繞項(xiàng)目目標(biāo)就實(shí)施方案和下階段實(shí)施計(jì)劃開展了富有成效的討論。

“高功率薄片超快激光器關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目順應(yīng)了超精密制造發(fā)展和制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)的內(nèi)在需求，聚焦于千瓦級(jí)固體激光器、尤其是超快激光器的關(guān)鍵技術(shù)，目標(biāo)是快速實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)高功率薄片超快激光器的產(chǎn)業(yè)化。該激光技術(shù)以其大能量、窄脈寬、高重復(fù)頻率、高峰值功率和高平均功率等優(yōu)勢(shì)，既可以克服傳統(tǒng)棒狀晶體結(jié)構(gòu)技術(shù)路線的散熱限制，又可以避免因激光損傷和非線性帶來(lái)的光纖激光技術(shù)路線不適合于大脈沖能量和高峰值功率的缺點(diǎn)，能夠更好地實(shí)現(xiàn)高效、高質(zhì)、高可靠、低成本的精密加工、尤其是“冷加工”，適用于航空航天、半導(dǎo)體、新型顯示、新能源、汽車、碳纖維、機(jī)器人、生物醫(yī)療、科學(xué)研究等多領(lǐng)域的高端加工場(chǎng)景。其中，在超精密加工領(lǐng)域，該激光器可實(shí)現(xiàn)高效加工，有效減少飛屑毛刺、提升生產(chǎn)效率；在半導(dǎo)體領(lǐng)域，大能量、高重頻超快激光是支撐EUV光源預(yù)脈沖的核心技術(shù)；在前沿科學(xué)領(lǐng)域，薄片激光技術(shù)是實(shí)現(xiàn)高平均功率阿秒驅(qū)動(dòng)脈沖的有效手段，為阿秒技術(shù)走向商用提供了有效路徑；在新型顯示等其他高端加工場(chǎng)景，高功率、大脈沖能量的紫外、深紫外薄片激光器將以更好的穩(wěn)定性和更優(yōu)的成本替代目前尚需進(jìn)口的準(zhǔn)分子激光器，可見薄片激光器在諸多的高端和尖端領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景，將支撐這些領(lǐng)域的發(fā)展。

國(guó)際上，德國(guó)通快公司掌握了該激光技術(shù)并推出系列化產(chǎn)品。而國(guó)內(nèi)的該激光器的產(chǎn)業(yè)化尚處于空白，與前述公司的差距集中在薄片激光器增益模塊的設(shè)計(jì)、制造和封裝工藝、多沖程泵浦模塊等關(guān)鍵技術(shù)。英諾激光作為國(guó)內(nèi)固體和超快激光器龍頭企業(yè)，基于自身深厚的技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化積淀，通過(guò)多年來(lái)與國(guó)內(nèi)領(lǐng)先科研機(jī)構(gòu)的合作研究，突破了多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，具備了推進(jìn)產(chǎn)業(yè)化的扎實(shí)基礎(chǔ)。

此次，英諾激光聯(lián)合中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所、浙江大學(xué)、深圳大學(xué)等國(guó)內(nèi)領(lǐng)先科研機(jī)構(gòu)，聚焦于完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的薄片激光器增益模塊的設(shè)計(jì)、制造和封裝工藝、多沖程泵浦模塊、高功率皮秒薄片激光器核心部件等，將在設(shè)計(jì)、材料、加工、封裝和調(diào)試等方面形成更多創(chuàng)新點(diǎn)和發(fā)明專利，加速高功率薄片超快激光器的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，從而支撐高端制造業(yè)的發(fā)展。

作為“科技重大專項(xiàng)項(xiàng)目”之一，深圳市科技創(chuàng)新局已于日前批準(zhǔn)該項(xiàng)目立項(xiàng)，以資助公司使該項(xiàng)目圓滿達(dá)成預(yù)期目標(biāo)。

“高功率薄片超快激光器關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目立足于公司在固體和超快激光器領(lǐng)域的深厚的技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化積淀，將實(shí)現(xiàn)具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的工業(yè)級(jí)激光器從百瓦級(jí)向數(shù)千瓦級(jí)的跨越，憑借顯著的性能優(yōu)勢(shì)打開全新和更為廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域。公司將以此為契機(jī)，秉持創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)，堅(jiān)定走“專精特新”之路，進(jìn)一步強(qiáng)化在國(guó)內(nèi)激光行業(yè)的領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)，提升在全球激光行業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力，踐行“用激光造福人類”的使命。

文章來(lái)源：英諾激光

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