注：本文版權(quán)為《激光世界》所有，未經(jīng)許可，請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載！

在高效率太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中，高速激光鉆孔是一個(gè)重要的加工步驟，特別是在需要在每個(gè)單元上鉆出10000多個(gè)通孔的發(fā)射極穿孔卷繞（EWT）太陽(yáng)能電池的制造中。因?yàn)?a style="color: #000; text-decoration: none" title="太陽(yáng)能">太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線上的單個(gè)加工步驟的典型持續(xù)時(shí)間為1~2秒鐘，每秒10,000個(gè)通孔的鉆空速度，是工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)的最低要求。

目前市場(chǎng)上可獲得的激光源與掃描振鏡所能實(shí)現(xiàn)的最大鉆孔速率為每秒4000孔。采用一種新的光學(xué)概念，將高性能振鏡掃描振和激光束分頻器的結(jié)合使用，為實(shí)現(xiàn)高速激光鉆孔提供了一種潛在解決方案。這種方案要求激光源的平均輸出功率達(dá)到幾百瓦，脈沖寬度保持在微秒范圍。目前已經(jīng)有一些不同的系統(tǒng)解決方案可滿足用戶的不同需求。

研究表明，脈沖寬度和脈沖能量是實(shí)現(xiàn)高效鉆孔的關(guān)鍵因素。通過(guò)使用兩臺(tái)Jenoptik Jenlas IR 70激光器，有望在200微米厚的晶圓上實(shí)現(xiàn)9600孔/s的鉆孔速度，在180微米厚的晶圓上實(shí)現(xiàn)12500孔/s的鉆孔速度。